Ярымүткәргечләр җитештерүдә "нуль кимчелек" таләпләре көчәю фонында, Lijie 9 дюймлы түбән хлорлы нитрил перчаткалары, гадәттән тыш түбән ион калдыклары һәм югары чисталык күрсәткечләре аркасында, пластина эшкәртү һәм чип төрү этапларында алыштыргысыз саклагыч җиһазларга әйләнде. Махсуслаштырылган эшкәртү ярдәмендә перчатканың хлор күләме ≤50ppm дәрәҗәсендә катгый контрольдә тотыла - бу 100ppm сәнәгать стандартыннан шактый артып китә. Бу пластина өслекләрендә хлорид ионнары миграциясе аркасында килеп чыккан коррозия куркынычларын нәтиҗәле рәвештә булдырмый, ярымүткәргечләр җитештерүенең микроскопик пычрануны контрольдә тоту буенча катгый таләпләрен канәгатьләндерә.
Литография процесслары вакытында перчаткаларның чисталыгы фоторезист каплавының төгәллегенә һәм экспозиция нәтиҗәләренә турыдан-туры тәэсир итә. 100,000 класслы чиста бүлмәләрдә җитештерелгән һәм лазер белән тузанны бетерүгә дучар ителгән бу продукт өслек кисәкчәләре чыгару күләмен квадрат дюймга 0,2 кисәкчәдән кимрәк күрсәтә - бу ISO 3 класслы чиста бүлмә стандартларына туры килә. Бу микрокисәкчәләрнең пластина өслекләренә ябышуын нәтиҗәле рәвештә булдырмый, шуның белән литография кимчелекләрен киметә. 9 дюйм озынлыктагы дизайн беләзектән уч төбенә кадәр тулы каплауны тәэмин итә. Эластик манжет структурасы белән берләштерелгәндә, ул эш сыгылмалылыгын тәэмин итә, шул ук вакытта җиң тишегендә тузан коелуын нәтиҗәле рәвештә булдырмый, литография процессларында динамик чиста мохит өчен катгый таләпләргә туры килә.
Гравюра һәм ион имплантациясе кебек югары коррозияле реагентлар белән бәйле процесслар вакытында бу перчаткалар гаҗәеп химик каршылык күрсәтә. Фторлы водород кислотасы һәм фосфор кислотасы кебек гадәти ярымүткәргеч реагентларда 24 сәгатьлек иммерсия сынауларыннан соң, алар шешенми яки ярылмый, авырлык үзгәрү тизлеге 0,8% тан түбән. Бу операторлар өчен ышанычлы кул саклауны тәэмин итә, шул ук вакытта перчатка зыяныннан реагент пычрану куркынычын бетерә. Бармак очларында 0,02 мм лазер белән гравировкаланган таймый торган текстуралар бар, алар 12 дюймлы пластиналар белән эш иткәндә ышкылуны 35% ка арттыра һәм пластина тайу куркынычын 60% ка киметә. Бу саклау куркынычсызлыгы һәм эш тотрыклылыгы арасында баланска ирешә.
Хәзерге вакытта SEMI F57 стандартлары буенча сертификатланган бу перчаткалар SMIC һәм Hua Hong Semiconductor кебек алдынгы кою заводларында массакүләм җитештерү линияләрендә кулланыла. Алар кул белән тию нәтиҗәсендә пластина калдыклары күләмен 38% ка киметә, бу исә чиста бүлмәләрне саклау һәм эксплуатация нәтиҗәлелеген тигезләү өчен ярымүткәргечләр җитештерүдә идеаль сайлау булып тора.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 11 ноябре